數字式流量開關 PFM7
 | ?對應氬氣（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合氣體（Ar＋CO2）。 ?可實現保護氣體的流量管理、數值管理。 ?設定小單位：0.01L/min。 ?重復操作精度：±1%F.S.。 ?無潤滑脂。 ?將流量調節閥一體化（省配管、省空間）。 ?響應時間：可選擇50ms、0.5s、1s、2s。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 適合流體 | 額定流量范圍（L/min） |
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| PFM7 | 干燥空氣、N2、Ar、CO2 | 0.2～10（0.2～5） 0.5～25（0.5～12.5） 1～50（1～25） 2～100（2～50） （?。镃O2的值 |
| PFM7-X731 | 對應Ar＋CO2的混合氣體 | 0.2～7 0.5～25 0.5～20 1.0～50 1.0～40 2～100 2～90 2～80 |
數字式流量開關PFM7
| 系列 | 下載 |
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| PFM7 | |
| PFM7-X731 | |
高精度數字式壓力開關 ISE30A
 | ?可實現保護氣體的壓力管理和數值管理。 ?對應氬氣（Ar）、二氧化碳（CO2）、混合氣體（Ar＋CO2）。 ?3步設定。 |
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下載 | 其他資料 |
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| 系列 | 種類 | 額定壓力范圍 |
|---|---|---|
| ISE30A | 正壓 | －0.100～1.000MPa |
高精度數字式壓力開關ISE30A
| 系列 | 下載 |
|---|---|
| ISE30A | |
