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球形脈沖激光淀積系統(PLD)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌沈陽科晶/KEJING
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2021-03-15
  • 訪問次數353
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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產企業的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業大學、東北大學等高校,*金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等*企業都是*合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業實驗室,配備了優秀的專業技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環境,而且還可得到專業人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優質、高效、專業的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為市場上專業的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
測厚儀,金相顯微鏡,維氏硬度計,表面粗糙度儀
球形脈沖激光淀積系統(PLD)
球形脈沖激光淀積系統(PLD) 產品信息

產品簡介 該系統為球形脈沖激光淀積系統(PLD)工藝研發設備。脈沖激光沉積 (Pulsed laser deposition, PLD),就是將激光聚焦于靶材上一個較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運動,進而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術的應用較為廣泛,可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。

 

產品名稱

球形脈沖激光淀積系統(PLD

安裝條件

1、環境溫度10℃~35℃

2、相對濕度不大于75%

3、   水壓0.2MPa~0.4MPa,水溫15℃~25℃

4、設備周圍環境整潔,空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬導電的塵埃或氣體存在。

技術參數

1系統采用真空室為球形結構,手動前開門
2真空室組件及配備零部件全部采用優質不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口真空有效尺寸為SΦ300mm
3極限真空度:≤6.67x10-5Pa (經烘烤除氣后,采用600L/S分子泵抽氣,前級采用8L/S);系統真空檢漏漏率:≤5.0x10-8Pa.l/S; 系統從大氣開始抽氣到8.0x10-4 Pa,40分鐘可達到; 停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa
4、樣品臺:樣品尺寸φ40mm,轉速5-30RPM,基片臺與轉靶距離4090mm
5樣品加熱高加熱溫度:800℃,溫控精度:±1°C,采用控溫表進行控溫
6、四工位轉靶:每個靶位φ40mm,擋板只露出一個靶位,激光束要求打在上面靶位,轉靶具有公轉、自轉功能
7、真空室內設置烘烤、照明、水壓報警裝置
8、MFC一路質量流量計控制進氣 :0-100sccm

 

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