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高真空PECVD系統

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱沈陽科晶自動化設備有限公司
  • 品       牌沈陽科晶/KEJING
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2021-03-15
  • 訪問次數146
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沈陽科晶自動化設備有限公司是由畢業于美國麻省理工學院的江曉平博士于2000年5月創建。與合肥科晶材料技術有限公司、深圳市科晶智達科技有限公司同屬于科晶聯盟。自*SYJ-150低速金剛石切割機誕生以來,沈陽科晶便開始了以趕超國外同行、材料分析設備潮流為目標的發展歷程。時至今日,已經擁有涵蓋材料切割、研磨、拋光、涂膜、鍍膜、混合、壓軋、燒結、分析等領域以及相關耗材的上百種產品,可以滿足晶體、陶瓷、玻璃、巖相、礦樣、金屬材料、耐火材料、復合材料、生物材料等制備分析的全套需要。  沈陽科晶立足國內市場實際情況,以提供實用的產品為己任。產品的質量、精度在向國外企業看齊的基礎上,產品的價格定位卻僅僅是其幾分之一。的性價比不僅吸引了眾多國內客戶,而且令挑剔的外國客商也稱贊不已,產品遠銷于印度、馬來西亞、土耳其、波蘭、突尼斯、澳大利亞等國家,并大量出口于美國。  沈陽科晶一直致力于高等院校、研究所、生產企業的科研服務,即產品定位于研究市場,主要面向廣大高等院校、科研機構、實驗室以及工廠的小規模生產。多年以來,已與全國眾多高校、研究院所建立了良好的合作、服務關系。其中北京大學、清華大學、浙江大學、哈爾濱工業大學、東北大學等高校,*金屬研究所、上海硅酸鹽研究所、中國科學地質與地球物理研究所等科研機構,中國航天工業集團公司、中國船舶重工集團公司、攀鋼集團有限公司等*企業都是*合作的榮譽客戶。  沈陽科晶為了更好地服務客戶,專門設立了開放式專業實驗室,配備了優秀的專業技術人員。在這里,不僅可以提供親身的產品體驗環境,而且還可得到專業人員的操作指導。開設以來,制作的樣品達上千件,接待來訪客戶參觀百余次,其中包括多次外國友人的來訪。在此,沈陽科晶全體員工誠摯地歡迎您的到來,并希望您能提出寶貴的意見與建議。此外,沈陽科晶擁有優質、高效、專業的銷售咨詢、售后服務團隊,能夠為每一位客戶提供采購建議與方案、完善的使用指導與售后服務。使每一位客戶的需求得到滿足是沈陽科晶每個員工不懈努力的目標。  沈陽科晶一路走過的歷程,是為我國材料研究事業全力貢獻的歷程,是以實際行動將自己打造成國內材料分析設備的歷程,是與國外同行不斷縮小差距的歷程,是與廣大客戶相扶相持的成長歷程。雖一路充滿坎坷與荊棘,但堅持不懈的沈陽科晶人仍全力以赴的前行。秉承這份堅持,相信在不久的將來,沈陽科晶也將會成為市場上專業的、杰出的材料分析設備品牌,沈陽科晶的明天會更加燦爛輝煌。
測厚儀,金相顯微鏡,維氏硬度計,表面粗糙度儀
高真空PECVD系統
高真空PECVD系統 產品信息

產品簡介:高真空PECVD系統為單室薄膜太陽電池等離子增強化學氣相沉積(PECVD)工藝研發設備,用來在硅片上沉積SiOxSiNx、非晶硅、多晶硅、碳材料等薄膜,鍍膜樣品為156*156mm基片(并向下兼容)。

產品型號

高真空PECVD系統

主要特點

1、系統采用單室方箱式結構,手動前開門;

2、真空室組件及配備零部件全部采用優質不銹鋼材料制造(304),氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸+電化學拋光鈍化處理配有可視觀察窗口,并帶擋板,真空尺寸為300mm×300×280mm;

3、采用樣品在下,噴淋頭在上噴淋式進氣方式

4、氣路設有勻氣系統,真空室內設有保證抽氣均勻性抽氣裝置

5、系統設有硅烷尾氣處理系統(高溫裂解方式)。

技術參數

1、停泵關機12小時后真空度:≤5 Pa;

2、樣品加熱高加熱溫度:300℃,溫控精度:±1°C,采用日本進口控溫表進行控溫;

3、噴淋頭尺寸:200×200mm,噴淋頭與樣品之間電極間距20-80mm連續可調,并帶有標尺指數顯示,采用金屬焊接波紋管+進口直線導軌+進口絲杠+進口光軸方式,升降平穩、無抖動,保證了電極與樣品的平行度;

4、 沉積工作真空:13-1300Pa;

5、射頻電源:頻率 13.56MHz,大功率500W,全自動匹配;

6、SiH4、NH3、N2O、N2、H2、Ar 6路氣體,共計使用6個質量流量控制器控制進氣。

標準配件

 

可選配件

 

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