?產品簡介 NanoPVD-T15A是英國MOORFIELD公司一款桌面式高性能科研級熱蒸發系統,配置有常規電阻熱蒸發系統及低溫熱蒸發系統,分別用于金屬薄膜蒸鍍及有機薄膜蒸鍍,該系統被上許多學術團隊采用,廣泛應用于OLED/OPV/OFET的研究領域。 ?產品特性 ? 緊湊型桌面結構,模塊化設計 ? 可同時用于金屬薄膜蒸鍍及有機薄膜蒸鍍 ? 4英寸樣品臺 ? 真空度低至 <5 × 10-7 mbar ? 配置Quartz crystal sensor用于薄膜厚度監測 ? 高可安裝4個LTE低溫熱蒸發源(用于蒸鍍有機物薄膜) ? 低溫熱蒸發源高溫度600℃ ? 高2個電阻熱蒸發源(用于蒸鍍金屬薄膜) ? 電阻熱蒸發源的高溫度1700℃ ? 高縱橫比倉室,用于獲得高質量薄膜 ? 操作簡單:通過觸屏或計算機實現全自動操作 ? 自定義并可存儲多個recipe ? 操作安全:自帶各種軟硬件互鎖功能 ? 可選加熱樣品臺,高溫度500℃ ? 可選旋轉樣品臺 ? 售后維護簡單 ? 兼容超凈間 ?典型結構 ? 有機薄膜蒸鍍:配置4個LTE低溫熱蒸發源 ? 金屬薄膜蒸鍍:配置2個電阻高溫熱蒸發源 ? 有機薄膜與金屬薄膜同時蒸鍍:配置2個電阻高溫熱蒸發源與2個LTE低溫熱蒸發源 ?應用 該系統用于有機半導體材料的物理化學性能研究實驗、有機半導體器件的原理研究實驗、OLED實驗研究及有機太陽能薄膜電池實驗研究??蓮V泛應用于高校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。