- 自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的突出特點:
- 一款的3D光學測量儀
InfiniteFocus G5整合了微型三坐標測量系統和表面粗糙度測量系統所有的功能。
*和高效
LED環形燈的設計,使表面測量的范圍幾乎不受限制。
高分辨,高可重復性和可溯源
即使對于復雜樣品表面,仍可以獲得高達10納米的垂直分辨率
高測量速度
InfiniteFocus的測量速度可以達到170萬點/秒。
模塊化和可擴展性
新的功能可以很容易通過擴展測量模式整合全自動
測量簡單且自動化程度高,如自動更換物鏡等
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5

自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5的主要技術參數:
樣品表面結構:表面形貌Ra>9nm,Lc=2μm,取決于表面結構
大樣品高度:100mm ~ 345mm
大樣品重量:30kg
水平分辨率:0.44μm
垂直分辨率:10nm
大掃描高度:22.5mm
大擴展視野范圍:10000mm2
大單一方向掃描范圍:100mm
測量速度:170萬個測量點/秒
小測量高度:0.01μm
大測量高度:22.5mm
大測量范圍:10000mm2
大測量形貌長度:100mm
小可重復性:0.001μm
小測量粗糙度(Ra):0.03μm
小測量粗糙度(Sa):0.015μm
小測量半徑:1μm
小測量垂直角度:20°
大測量傾斜角度:87°
自動變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5比InfiniteFocus G4擁有更*的性能:
自動設置
適用更多材料及更復雜表面的測量
更穩定,更精密的測量
測量精度更高,尤其對于大范圍面積樣品的測量