產(chǎn)品特點(diǎn) • 全表面測(cè)量平面度、波度和輪廓度• 完整的三維分析和報(bào)表• 對(duì)大于視場(chǎng)范圍的表面可以進(jìn)行無縫拼接• 大三維數(shù)據(jù)點(diǎn):400萬/視場(chǎng)• 垂直分辨率: 50 nm• 橫向分辨率: 150 μm• 多表面間的相對(duì)關(guān)系測(cè)量• 高速、非接觸、容易使用
性能參數(shù)• 運(yùn)行環(huán)境溫度: 18 ℃~35 ℃
• 濕度:10% ~ 80% 非冷凝
• 1級(jí)激光產(chǎn)品
• 視場(chǎng)范圍:280 mm x 280 mm x 275 mm
• 距傳感器的工作距離:25 mm to 300 mm
• 橫向分辨率:150 μm
• 垂直分辨率:0.05 μm
• 垂直精度基數(shù): 1 μm
• 測(cè)量速度:約1分鐘/視場(chǎng)
• 大測(cè)量點(diǎn)數(shù):400萬/ 視場(chǎng)
