P51壓電偏擺/旋轉臺是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高，80×80mm中心大通 孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。

特性：

θx, θy 偏擺運動，Z向升降 • 閉環定位精度高 • 響應速度快 • 透光孔：80×80mm

典型應用

• 掃描顯微 • 激光合束對準與激光致盲

• 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統

• 生物技術 • 掩模與晶片位置調整

仿真分析

通過有限元FEA優化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術用于設計運動方向上的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許 *精度的運動，因為鉸鏈機構無間隙、無摩擦。

超高導向精度、分辨率高、閉環傳感精度高

P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉 行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達110μm。P51偏轉臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結構，采用 有限元分析進行優化，具有超高的剛度以及導向精度。可選擇內置精密傳感器進行全閉環位置反饋，確保其 具有的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米 級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時間為毫秒量級。

超薄的設計適用于顯微應用

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應 用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯 微鏡中。

P51壓電偏擺/旋轉臺技術參數：

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。