P66一維X軸壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅式驅動機構，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位 系統。可以通過疊加組合的方式組成二、三維壓電納米定位臺，實現XYZ軸34μm的位移行程，可選擇內置高精度傳感器進行閉環納米級 精密定位控制。產品已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。

典型應用

• 干涉/ 掃描 • 計量

• 質量保證測試 • 微加工/精密控制

• 光盤驅動測試 • 半導體技術

應用實例：原子力探針掃描顯微鏡

芯明天P66.XY壓電納米定位臺以其高響應頻率、高精度、高可 靠性等優勢廣泛應用于原子力探針掃描顯微鏡中。

特性：

• 大位34μm• 開環閉環可選 • 大承載5kg• 重復定位精，可達納米級• 亞毫秒響應時間

1-3維平移臺

P66系列壓電納米定位臺包括X、XY、XZ、XYZ 多種規格型號，可以實現1-3維納米級精密運動與定 位。

開環與閉環版本可選

P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版 本，閉環版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快 速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合 適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信 號。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列 納米定位臺可以實現滿行程0.05%的線性度與重復 度。

P66一維X軸壓電納米定位臺技術參數;

以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。