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芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱哈爾濱芯明天科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號P54
  • 所  在  地
  • 廠商性質生產廠家
  • 更新時間 2020-08-10
  • 訪問次數602
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哈爾濱芯明天科技有限公司是專業從事微運動器(壓電陶瓷)和微運動控制器(壓電陶瓷控制器)產品的開發、生產、銷售及服務的高科技企業,我們的微運動器和微運動控制器產品是推動微制造、微工業、微軍事、微生物、微醫療、微光學等微觀領域發展的核心技術,是了解和操縱微觀世界的機器心臟。

   哈爾濱芯明天科技有限公司經過多年的項目研究與技術積累,擁有了自己的核心技術,開發出了系列化的微運動器與微運動控制器產品,廣泛地應用于國內各高校、科研院所及生物顯微鏡、光學儀器、燃油噴射系統、微小器件加工機床的公司;公司與哈爾濱工業大學的多個研究所有著多年的密切合作關系,按照科研與產業化相結合的道路持續發展;公司擁有雄厚的技術儲備和研發制造能力,并且擁有一群充滿熱情和富有創新能力的青年隊伍。

   微運動器(壓電陶瓷)產品是微小運動或微小變化的執行器,典型特點是體積小、重量輕、輸出力大、功耗低、運動速度快、運動精度高、運動分辨率高。

   微運動控制器(壓電陶瓷控制器)產品是控制微運動器如何產生和產生多大的微小運動或變化的控制器,與微運動器配套使用;具有液晶顯示、智能控制算法、驅動功率大、嵌入式計算機控制等特點。

 

壓電偏轉鏡,壓電納米掃描臺,傳感器,控制器
芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺 P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高,8080mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。
芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺 產品信息

1.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

特性

• θx, θy偏擺運動,zui大偏轉角度±1.1mrad/軸 • 開環/閉環可選擇 • 80×80mm大通孔

• 分辨率高 • 外形超薄

2.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

外觀形狀

產品運動示意圖

閉環曲線

閉環傳感精度高

頻率負載曲線

應用實例-激光合束/軍事激光武器

P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優化,使角度偏移達到zui小,無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅動實現zui大偏轉范圍±1.1mrad,分辨率高達0.05μrad,可選擇配置閉環傳感器實現0.1%F.S.的重復定位精度。

臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為80×80mm,P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用的選擇。

P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光武器等領域。

負載大鏡片

驅動方式

P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透射光的應用,負載后仍可高動態高精度的掃描。

校準調測

震動實驗

3.二維θxθy向壓電偏擺臺驅動方式

P54壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90相差輸入,通過控制電壓的大小,對不同的光路距離,可進行一定范圍的圓形范圍掃描,如下右圖所示。

應用

• 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動模擬系統 • 光路調整 • 掩模與晶片位置調整 • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡 • 掩模/晶圓定位 • 生物技術 • 表面結構分析

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