出色的抗過壓真空電容式壓力計美國西特 Model 730
出色的抗過壓真空電容式壓力計美國西特Model 730
真空電容式壓力計
耐化學品的 InconelTM 設計
精確的低真空測量
壓力接頭
Setra 的 730 型是一款高精度的電容式壓力計(亦稱電容式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導體和工業市場中測量對過程控制至關重要的低真空范圍。該產品讀數精度達 ±0.5%,分辨率高,優于同類產品。 730 型使用全InconelTM 接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介質。由于采用直接測量設計,它能精確測量介質,不受應用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的高性能產品
采用單膜片可變電容感應元件,適用于苛刻的半導體和工業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態范圍寬的特點,使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設計保證通用性
所有接液部件均采用 Inconel TM 材料,因此對半導體和工業真空過程中的腐蝕性介質具有*的耐受性。
Inconel TM 材 料 結 合 全 焊 接 結 構, 確 保 730 型 在 這 類應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業電容式壓力計不同, 730 型測量直接壓力,不受被測混合氣的影響,這使其精度優于間接測量型壓力計。
耐壓
范圍 耐壓(PSIA)
所有范圍 45 PSIA
特性
·高精度:±0.5% 讀數
·張緊的膜片保證優異的性能
·工作溫度補償范圍寬
·回路噪聲低,響應快
·不易受環境條件變化影響
·出色的抗過壓設計
·符合 CE 和 RoHS 規范
耐化學品的 InconelTM 設計
精確的低真空測量
壓力接頭
技術規格:
電壓輸出
電路3線
激勵14-30VDC;9-30VDC
輸出0-10VDC**;0-5VDC**
輸出阻抗<1Ω
功耗<200mW
CE認證89/336/EEC重工業標準
MODEL720的環境參數
工作溫度-20~+80℃(-4~+176℉)
存儲溫度-40~+125℃(-40~+257℉)
沖擊50g
MODEL730的溫度影響
補償范圍0~+50℃(+32~+122℉)
零點漂移±0.005%FS/℃(±0.01%FS/℉)
量程漂移±0.027%RDG/℃
物理參數
殼體不銹鋼
電氣連接9針D型插座
壓力連接見訂購指南
接液部件InconelRRRRR
壓力介質與InconelRRRRR相容的液體或氣體.InconelRRRRR接液部分僅配0.5″管的壓力接頭.選擇其它的壓力接頭需要加不銹鋼.
重量(約)137克
腔體體積<6.2立方厘米
MODEL730的性能參數
精度±0.5%FSBBBBBBBBBB±0.25%FS(可選)
響應時間20ms
*穩定性±0.5%FS/年
分辨率無限,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS)
壓力介質
與用于Inconel® 0.5"管道選項。其他接頭選項會添加不銹鋼
認證CE, RoHS
應用
·半導體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝