深圳威固特VGT-1018S鍺清洗機
深圳威固特VGT-1018S鍺清洗機
型號:VGT-1018S
產品特點:
1,腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性;
2,工藝參數(shù)(溫度,時間,DIW水清洗模式、時間可調)手動由觸摸屏界面可設定;
3,機臺前方為清洗工作區(qū)域,機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域。
4,藥液供給及補液方式: 分體式CDS自動供液系統(tǒng)
5,DI槽配有在線式水質檢測裝置;
6,配有分體式廢液回收系統(tǒng);
7,配備自動滅火系統(tǒng);
8,環(huán)保型自動、智能清洗系統(tǒng)
應用范圍:
用于鍺片鍍膜前處理的清洗,也可以用于其他晶片的清洗腐蝕;
工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件;
設備形式:室內放置型;
設備結構:一體式、*集成型
技術參數(shù):
超聲波功率:900w
超聲波頻率:28khz/48khz
換能器數(shù)量:18個
電源電壓:三相五線380V