LE系列激光光柵尺以高度穩(wěn)定的激光波長(zhǎng)為基準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)了高精度,高分辨率的直線位移測(cè)量。LE系列激光尺可以實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)達(dá)20米的精確測(cè)量,比傳統(tǒng)的光柵尺在長(zhǎng)距離應(yīng)用上有突出的成本優(yōu)勢(shì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
測(cè)量距離長(zhǎng),LE系列激光尺測(cè)量系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)20m的測(cè)量。測(cè)量精度高,LE系列激光尺測(cè)量系統(tǒng)在中小型龍門機(jī)床的工作臺(tái)軸應(yīng)用中能夠?qū)崿F(xiàn)士0.5um/m的精度。
應(yīng)用領(lǐng)域
精密機(jī)床;半導(dǎo)體精密加工設(shè)備;測(cè)量機(jī)等其他需要高精度直線位置反饋的應(yīng)用場(chǎng)合。
應(yīng)用案例
科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KGHM2560U高速橋式龍門機(jī)床,X軸全行程6m,配置LE系列激光尺作為全閉環(huán)反饋,定位精度達(dá)到6um,重復(fù)定位精度達(dá)到3um。
LE系列激光光柵尺技術(shù)參數(shù)表: