高精度激光干涉儀LM-10應用領域
位置精度檢測,可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、反向間隙、角度、直線度、微量位移精度等;其他需要高精度直線位移測量的應用場合。
應用案例
科德數控股份有限公司生產的KMC800系列高精度五軸立式復合加工中心,采用主軸移動模式,并且具備高達60m/min進給速度,1g加速度的性能指標,X/Y/Z軸行程分別為800/800l540mm,具有銑削和車削以及磨削三種模式。利用LM系列激光干涉儀進行X軸測量,定位精度為3.5um/m,重復定位精度為3.5um/m,這一測量值與使用雷尼紹激光干涉儀的測量值*。
高精度激光干涉儀LM-10特點:
LM系列激光干涉儀通過與外部光學組件相配合,實現高精度、高重復、可溯源的測量。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等完成線性位置測密機床或測量工作,并可作為精密機床或測量儀器的校準工具。
測量精度高,LM系列激光干涉儀測量系統可達到士0.5um/m的測量精度。
激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來使用,搭配靈活,便于適應復雜的現場應用狀況。智能化的上位機軟件,可在機床自動化運行的狀況下完成定位精度、重復定位精度的測量。并且可以自動生成相關補償文件,供不同廠家系統補償使用。
技術參數表: