上海漢鐘干式真空泵 PS系列
包括機型 漢鐘真空泵PS80 ,漢鐘真空泵PS160, PS180, PS602, PS1302
中國臺灣PS系列產品特點
螺旋真空泵浦產品特色
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏污染的問題。透過轉子線形良好的密封效果,*壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表面披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用于PECVD、Etching等嚴苛制程。
泵浦溫度控制精準
漢鐘精機PS系列干式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控制泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。
密封馬達安全性高
PS系列真空泵浦亦全面采用設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可*避免制程氣體外漏的風險。
微電腦控制保護周全
PS系列真空泵浦亦可配備微電腦控制器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的安全性保護,十分適用于光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求*之產業。
PZt系列雙級旋片泵
*的技術
1.兩檔可調氣鎮,更方便不同工藝對蒸汽排出量的要求。
2.強制潤滑,內置齒輪泵及恒壓供油機構強制供油,高吸氣壓強下也能提高穩定可靠運行。
3.雙重防返沒油結構,自動防返油結構設計,更可靠地保護您的真空系統在停機后免受油的污染。
4.整體式泵體,零部件量少,重復性好,便于維修及保養。