序1 序2 前言
第1篇 氣相沉積技術(shù)基礎及各種氣相沉積技術(shù)
第1章 氣相沉積技術(shù)概述
第2章 化學氣相沉積技術(shù)
第3章 物流氣相沉積技術(shù)
第4章 等離子體增強化學氣相沉積技術(shù)
第5章 氣相沉積設備
第6章 預處理主要輔助設備
第7章 膜層質(zhì)量測試
第2篇 氣相沉積技術(shù)應用領(lǐng)域
第1章 氣相沉積技術(shù)在硬質(zhì)圖層中的應用
第2章 氣相沉積技術(shù)在防護涂層方面的應用
第3章 氣相沉積技術(shù)在光學薄膜領(lǐng)域中的應用
第4章 氣相沉積技術(shù)在建筑鍍膜玻璃方面的應用
第5章 氣相沉積技術(shù)在太陽能利用領(lǐng)域的應用
第6章 氣相沉積技術(shù)在集成電路制造中的應用
第7章 氣相沉積技術(shù)在信息顯示器件中的應用
第8章 氣相沉積技術(shù)在信息存儲領(lǐng)域的應用
第9章 氣相沉積技術(shù)在裝飾飾品上的應用 參考文獻
20世紀70～80年代，由于真空技術(shù)、薄膜科學與技術(shù)和表面物理相結(jié)合，使氣相沉積技術(shù)迅速崛起，亦促進了薄膜產(chǎn)品的開發(fā)與應用。氣相沉積技術(shù)包括化學氣相沉積、物理氣相沉積和等離子體化學氣相沉積。它既是綜合性的應用技術(shù)，又涉及到許多跨學科的理論基礎。可以說，目前采用氣相沉積技術(shù)幾乎能在任何基體工件上，按照不同的性能要求，沉積出各種材料的涂層，以滿足實際應用的需要。 當今，世界上一些工業(yè)發(fā)達的國家，正是由于氣相沉積技術(shù)日新月異地向前發(fā)展，因而在卷纏鍍薄膜產(chǎn)品、塑料金屬化制品、硬質(zhì)涂層工模具、防護涂層、光學薄膜、建筑和汽車擋風窗玻璃、太陽能電池、集成電路、信息顯示和存儲器件等方面都已具有相當大的生產(chǎn)規(guī)模。 在我國，目前直接或間接從事氣相沉積技術(shù)的工程技術(shù)人員、科技工作者人數(shù)很多，跨越輕工、機械、電子、能源、材料、信息、航空航天等各個行業(yè)，而且這支隊伍正在迅速擴大。在膜系開發(fā)、工藝研究、設備研制、薄膜質(zhì)量檢測與機理研究方面都取得了可喜的成績。由于氣相沉積技術(shù)與高新技術(shù)密切相關(guān)，而且與許多學科互相交叉、互相滲透。其中不僅需要大量的人力、物力、財力，更需要進行智力投資，其中包括高水平專業(yè)人才的培養(yǎng)、普遍的知識更新、在職工程技術(shù)人員與工人的再學習等。 《氣相沉積應用技術(shù)》的出版，適應了我國氣相沉積技術(shù)發(fā)展以及從事這一領(lǐng)域工作人員的知識靈新和提高的需要。本書資料齊備新穎、編輯全面系統(tǒng)、論述詳盡深刻。內(nèi)容涉及各種氣相沉積技術(shù)的原理、設備、工藝、膜層的質(zhì)量檢測和分析以及在各個領(lǐng)域的應用等方面。相信本書的出版對于我國氣相沉積技術(shù)進一步的發(fā)展和推廣應用將會產(chǎn)生強有力的推動作用。 作為固體表面科學重要分支的氣相沉積技術(shù)，從物理和化學反應基礎理論角度已發(fā)展到相當完善程度。當前已開發(fā)出一系列在金屬和/或非金屬材料表面牢固沉積異種金屬或非金屬及其化合物，以改善其表面物理和化學性能的方法。各種氣相沉積從基礎理論到工藝技術(shù)及其在工業(yè)應用的縱深延伸，顯然已成為一個耀眼的高科技領(lǐng)域，被世界先進工業(yè)國家高度重視。 種類繁多的氣相沉積層分別具有高硬度、耐磨損、耐腐蝕、抗高溫氧化、特殊光學性能、超導性以及獲得悅目色彩的表面裝飾功能，從而在航空、航天、機械制造、兵器、化工、光學、電工、計算機器械、車輛、建筑、包裝和工藝美術(shù)制件、制品上獲得越來越廣泛的應用。 在我國，氣相沉積技術(shù)自20世紀70年代開始在氣相沉積技術(shù)的基礎研究、工藝開發(fā)、設備研制、推廣應用方面都取得了很大進步。有的涂層設備和氣相沉積產(chǎn)品還推向國際市場。我國的材料工程學者和熱處理工程師在所從事的多年研發(fā)中為氣相沉積技術(shù)的發(fā)展作出了卓越貢獻。 王福貞教授是北京市有突出貢獻專家，在物理氣相沉積理論上有深刻鉆研，在此領(lǐng)域的工業(yè)設備和關(guān)鍵元器件開發(fā)上有豐富的實踐經(jīng)驗和創(chuàng)新。她于三十年前就在北京工業(yè)大學和北京聯(lián)合大學從事物理氣相沉積技術(shù)的研究開發(fā)，先后進行活性反應離子鍍膜機、空心陰極離子鍍膜機、矩形平面大弧源離子鍍膜機等工業(yè)設備的開發(fā)，并成功地研發(fā)出柱狀陰極電弧源和陰極電弧源離子滲金屬設備和工藝，為提高離子滲鍍效率和改善離子沉積設備性能和沉積效果做出了杰出貢獻。 馬文存研究員級高級工程師曾任成都工具研究所涂層技術(shù)研發(fā)部主任，是國家有突出貢獻專家。他從1971年至今一直從事刀具、模具、機器易磨損件的化學氣相沉積基礎理論、工藝技術(shù)及生產(chǎn)設備的研發(fā)和推廣應用，先后承擔多項國家重大科研攻關(guān)項目，所獲成果不乏達到國際先進水平者。他為我國氣相沉積硬質(zhì)涂層技術(shù)的發(fā)展和實際應用做出了重大貢獻。 王福貞教授和馬文存研究員合著的《氣相沉積應用技術(shù)》一書系統(tǒng)地闡述了氣相沉積技術(shù)的理論基礎、各種沉積技術(shù)的原理、工藝過程、設備和配套設施、工件的前處理和后檢驗，以及在工業(yè)領(lǐng)域和各種制件、制品上的應用效果，介紹了國際上氣相沉積的最新成就，廣泛收集了我國的研發(fā)成果，總結(jié)了國內(nèi)應用的成功經(jīng)驗，堪稱是氣相沉積技術(shù)在我國第一本理論結(jié)合實際、而又特別注重生產(chǎn)應用、內(nèi)容十分豐富的杰作。這本書的出版必將進一步推動我國氣相沉積技術(shù)的發(fā)展，更有利于在工程技術(shù)人員和工科大專院校教學中普及氣相沉積知識，以及擴大其在工業(yè)中的應用，更能發(fā)揮其節(jié)能節(jié)材的巨大潛力，產(chǎn)生更大的經(jīng)濟社會效益。
編輯部：
